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发明名称 FORMATION OF CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267251(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920062188 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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