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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267338(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920092321 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238;H01L21/336;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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