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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267302(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920063342 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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