发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267645(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920064196 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L29/68;(IPC1-7):H01L29/68 主分类号 H01L29/68
代理机构 代理人
主权项
地址