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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH05266846(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920059915 申请日期 1992.03.17
申请人 发明人
分类号 H01J27/16;H01J37/08;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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