INTEGRATED CIRCUIT MASK PATTERN VERIFICATION DEVICE,申请号JP19920063024-传众专利搜索

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发明名称	INTEGRATED CIRCUIT MASK PATTERN VERIFICATION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05267423(A)	申请公布日期	1993.10.15
申请号	JP19920063024	申请日期	1992.03.19
申请人		发明人
分类号	G01R31/02;G06F17/50;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G06F15/60	主分类号	G01R31/02
代理机构		代理人
主权项
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