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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267241(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920061934 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 B01J4/00;C23C16/44;C23F4/00;C30B33/08;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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