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发明名称 APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05267181(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920058689 申请日期 1992.03.17
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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