发明名称 (B2) ;SANKABUTSUCHODENDOHAKUMAKUNOBISAIKAKOHOHO
摘要
申请公布号 JPH05267734(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920092015 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 C04B41/91;C01G1/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
主权项
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