发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SUPERCONDUCTIVE CIRCUIT SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05267737(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920061935 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 H01L39/24;H05K3/22;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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