| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ADJUSTING ELECTRON BEAM IN ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3597608(A) |
申请公布日期 |
1971.08.03 |
| 申请号 |
USD3597608 |
申请日期 |
1969.02.14 |
| 申请人 |
CARL ZEISS-STIFTUNG D.B.A. CARL ZEISS |
发明人 |
ERNST GUTTER |
| 分类号 |
H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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