发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05267168(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920062743 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/203;H01S3/18 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址