发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH05267169(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920064409 申请日期 1992.03.23
申请人 发明人
分类号 C30B23/08;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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