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发明名称 Beugungsgitter.
摘要
申请公布号 DE58905553(D1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 DE19895005553 申请日期 1989.11.23
申请人 LANDIS & GYR BUSINESS SUPPORT AG, ZUG, CH 发明人 DSCHEN TSING, DSCHEN TSING, CH-8953 DIETIKON, CH
分类号 G02B5/18;H01L21/306;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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