发明名称 |
FLUID CONTROLLING MICRODEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
摘要 |
Microdispostif de régulation de débit de fluide tel qu'une micropompe ou une microsoupape, dans lequel, un élément de base intermédiaire (1) est pourvu d'une partie étagée (7) de sorte que le rapport entre la hauteur d'une chambre supérieure (8) et celle d'une chambre inférieure (9) se trouvant dans le passage d'écoulement soit: t2/t1=0,2-5,0. |
申请公布号 |
WO9320351(A1) |
申请公布日期 |
1993.10.14 |
申请号 |
WO1993JP00413 |
申请日期 |
1993.04.01 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
MIYAZAKI, HAJIME;NOSE, YASUTO;ARAKAWA, KATSUJI;SHIMIZU, NOBUO;MURANAKA, TSUKASA |
分类号 |
F04B43/04;F04B53/10;F15C5/00;F16K99/00;(IPC1-7):F04B43/04 |
主分类号 |
F04B43/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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