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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDCUTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR930010053(B1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 KR19910004402 申请日期 1991.03.20
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 WATANABE, YU
分类号 H01L21/285;H01L21/336;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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