发明名称 Target für Kathodenzerstäubungsanlagen
摘要
申请公布号 DE9310565(U1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 DE19930010565U 申请日期 1993.07.15
申请人 BALZERS HOCHVAKUUM GMBH, 65205 WIESBADEN, DE 发明人
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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