发明名称 Plasmaerzeugungsgerät.
摘要
申请公布号 DE3883824(D1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 DE19883883824 申请日期 1988.04.08
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HAKAMATA, YOSHIMI, HITACHI-SHI, JP;NATSUI, KEN-ICHI, HITACHI-SHI, JP;KUROSAWA, YUKIO, HITACHI-SHI, JP;SATO, TADASHI, MITO-SHI, JP;KOJIMA, HIROAKI, HITACHI-SHI, JP;OHNO, YASUNORI, HITACHI-SHI, JP;KUROSAWA, TOMOE, HITACHI-SHI, JP
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利