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发明名称 Epitaxiereaktor mit Planetenbewegung.
摘要
申请公布号 DE68908927(D1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 DE19896008927 申请日期 1989.03.16
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 FRIJLINK, PETER, F-75007 PARIS, FR
分类号 C30B25/08;C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/12;C23C16/44 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
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