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发明名称 VORRICHTUNG FÜR DIE ZUFÜHRUNG VON QUECKSILBER AUF GLEICHBLEIBENDER HÖHE IN EINE VERDAMPFUNGSZELLE FÜR EPITAXIE.
摘要
申请公布号 DE68909043(D1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 DE1989609043 申请日期 1989.04.14
申请人 RIBER S.A., RUEIL MALMAISON, FR 发明人 BARSKI, ANDRE, F-93500 PANTIN, FR;BOUCHAIB, PIERRE, F-78420 CARRIERES-SUR-SEINE, FR;HERBIN, MICHEL, F-78112 FOURQUEUX, FR;LANSADE, CHRISTIAN, F-95100 ARGENTEUIL, FR;LECLERC, ALAIN, F-78800 HOUILLES, FR
分类号 C30B23/08;C30B23/02;C30B23/06;C30B29/48;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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