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发明名称 SURFACE TREATING APPARATUS FOR SEMICONDCUTOR MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 KR930010055(B1) 申请公布日期 1993.10.14
申请号 KR19900006347 申请日期 1990.05.04
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 TANAKA, MASATO;SHINBARA, KAORU
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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