Process for deposition of adherent metallic, ceramic or carbon layers on temperature-sensitive materials.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung haftfester metallischer oder keramischer Schichten sowie haftfester Kohlenstoffschichten auf temperaturempfindlichen Materialien mittels einer kathodischen Vakuumbogenverdampfung. In einem Einstufenprozeß wird der Anfangsdruck der kathodischen Vakuumbogenbeschichtung so eingestellt, daß die mittlere freie Weglänge für den Transport der Ionen des Kathodenmaterials zum Substrat größer als die Hälfte des Abstandes von der Kathode zum Substrat ist. Im weiteren Verlauf der Beschichtung wird der Druck auf Werte erhöht, welche einer mittleren freien Weglänge von weniger als dem halben Abstand zwischen der Kathode und dem Substrat entsprechen.