| 发明名称 |
APPARATUS FOR THE INWARD AND OUTWARD TRANSFER OF A WORKPIECE IN A VACUUM CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR930009991(B1) |
申请公布日期 |
1993.10.13 |
| 申请号 |
KR19910000805 |
申请日期 |
1991.01.18 |
| 申请人 |
LEYBOLT AG. |
发明人 |
KEMPF, STEFAN;ZEJDA, JAROSLAV |
| 分类号 |
C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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