| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE POLYMER HAVING THIOL GROUPS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0348092(B1) |
申请公布日期 |
1993.10.13 |
| 申请号 |
EP19890305994 |
申请日期 |
1989.06.13 |
| 申请人 |
CHISSO CORPORATION |
发明人 |
MAEDA, HIROTOSHI;KUNIMUNE, KOUICHI |
| 分类号 |
G03F7/012;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/037;G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/012 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
