发明名称 METHOD OF PRODUCING TANTALUM NITRIDE FILM RESISTORS
摘要
申请公布号 GB1247269(A) 申请公布日期 1971.09.22
申请号 GB19690036740 申请日期 1969.07.22
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY COMPANY LIMITED 发明人
分类号 C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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