发明名称 Method and apparatus for analysis of gases using plasma
摘要
申请公布号 US5252827(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 US19910753633 申请日期 1991.08.30
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOGA, MASATAKA;OKUMOTO, TOYOHARU;YAMASHITA, HIROMI;KAWACHI, KATUO;OKAMOTO, YUKIO
分类号 G01N27/68;G01N21/73;H01J49/04;(IPC1-7):B01D59/44;H01J49/00 主分类号 G01N27/68
代理机构 代理人
主权项
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