APPARATUS FOR PURIFYING EXHAUST GASES EMITTED IN CVD PROCESSES,申请号EP19890110876-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR PURIFYING EXHAUST GASES EMITTED IN CVD PROCESSES
摘要
申请公布号	EP0346893(B1)	申请公布日期	1993.10.13
申请号	EP19890110876	申请日期	1989.06.15
申请人	CENTROTHERM ELEKTRISCHE ANLAGEN GMBH + CO.	发明人	KROEDEL, GUNTER, DIPL.-ING.;FABIAN, LUTZ, DR. RER. NAT.;MOELLER, RAINER, DR.-ING.;STELZER, HORST, DIPL.-CHEM.;GILDEMEISTER, FRANK
分类号	B01D53/34;B01D53/46;F23G7/06	主分类号	B01D53/34
代理机构		代理人
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