Vertically oriented CVD apparatus including gas inlet tube having gas injection holes,申请号US19910809122-传众专利搜索

发明名称	Vertically oriented CVD apparatus including gas inlet tube having gas injection holes
摘要
申请公布号	US5252133(A)	申请公布日期	1993.10.12
申请号	US19910809122	申请日期	1991.12.18
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	MIYAZAKI, SHINJI;MIKATA, YUICHI;MORIYA, TAKAHIKO;NIINO, REIJI;NISHIMURA, MOTOHIKO
分类号	H01L21/31;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):C23C16/00	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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