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发明名称 BLACK QUARTZ GLASS, ITS PRODUCTION AND JIG USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH05262535(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 JP19920089445 申请日期 1992.03.13
申请人 发明人
分类号 C03B20/00;C03C3/06;C03C3/11;C03C4/02;G01N21/03;G01N21/15;H01L21/22;(IPC1-7):C03C4/02 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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