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发明名称 MAGNET STRUCTURE OF PLANAR TYPE MAGNETRON SPUTTERING SOURCE
摘要
申请公布号 JPH05263235(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 JP19920063320 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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