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发明名称 CLEANING CLOTH FOR IC FACTORY
摘要
申请公布号 JPH05261051(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 JP19920091558 申请日期 1992.03.18
申请人 发明人
分类号 A47L13/16;D04H3/013;H01L21/304 主分类号 A47L13/16
代理机构 代理人
主权项
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