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发明名称 MBE effusion source with asymmetrical heaters
摘要
申请公布号 US5253266(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 US19920916381 申请日期 1992.07.20
申请人 INTEVAC, INC. 发明人 KNODLE, III, WALTER S.;LUSCHER, PAUL E.;CAFFEE, BARRY K.
分类号 C23C14/26;C23C14/24;C30B23/06;F27B14/06;F27B14/14;H01L21/203;(IPC1-7):B05C11/00;C23C16/00 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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