发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH05264573(A) 申请公布日期 1993.10.12
申请号 JP19920227651 申请日期 1992.08.27
申请人 发明人
分类号 G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/12 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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