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经营范围
发明名称
TEMPERATURE CONTROLLER
摘要
申请公布号
JPH05264183(A)
申请公布日期
1993.10.12
申请号
JP19920063092
申请日期
1992.03.19
申请人
发明人
分类号
F28D15/02;G01R31/30;H01L21/66;H01L23/44;H01L23/473;(IPC1-7):F28D15/02
主分类号
F28D15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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