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发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SPIN COATING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05259057(A)
申请公布日期
1993.10.08
申请号
JP19920051850
申请日期
1992.03.10
申请人
发明人
分类号
B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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