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发明名称 MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05258894(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920051275 申请日期 1992.03.10
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C30B25/08;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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