发明名称 SHAPE OF WIRING IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05259159(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920058222 申请日期 1992.03.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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