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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05259075(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920053276 申请日期 1992.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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