发明名称
摘要
申请公布号 JPH0572117(B2) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19890032195 申请日期 1989.02.10
申请人 ROHM KK 发明人 ISHIDA JUJI;NAKAGAWA YASUFUMI;TANAKA HARUO
分类号 H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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