发明名称
摘要
申请公布号 JPH05259874(A) 申请公布日期 1993.10.08
申请号 JP19920185290 申请日期 1992.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238;H01L27/088;H01L27/092;H03K17/041;H03K17/16;H03K19/003;H03K19/0175;H03K19/094;H03K19/0952;(IPC1-7):H03K19/017;H03K19/095 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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