| 发明名称 |
METHODS OF ETCHING OXIDE OR NITRIDE LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1254118(A) |
申请公布日期 |
1971.11.17 |
| 申请号 |
GB19680057509 |
申请日期 |
1968.12.04 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
MARTIN PAUL LEPSELTER |
| 分类号 |
H01L21/306;C23F1/00;H01L21/00;H01L21/311 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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