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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen eines Einkristalls
摘要
申请公布号 DE4092708(T1) 申请公布日期 1993.10.07
申请号 DE19904092708T 申请日期 1990.10.18
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IMAI, MASATO, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP;SHIRAISHI, YUTAKA, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP;NIIKURA, KEISHI, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP;KUROSAKA, SHOEI, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP;NODA, HIROYUKI, YAMAGATA, JP
分类号 C30B15/02;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02;C30B27/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
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