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发明名称 Gas mixture for excimer lasers
摘要
申请公布号 AU3529493(A) 申请公布日期 1993.10.07
申请号 AU19930035294 申请日期 1993.03.17
申请人 BOC LIMITED 发明人 JACEK TADEUSZ GABZDYL
分类号 C01B23/00;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225 主分类号 C01B23/00
代理机构 代理人
主权项
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