| 发明名称 |
Method for the production of microstructures. |
| 摘要 |
<p>Ein Verfahren zum Erzeugen von Mikrostrukturen wie Mikrolöchern oder -kanälen (7) in Festkörpern (1) durch Ätzen von Teilchenspuren (4), vorzugsweise von Kernspuren hochenergetischer schwerer Ionen aus einem Beschleuniger. Beim Ätzen wird der pH-Wert der Ätzflüssigkeit in mehreren Stufen variiert, da die sogenannte Selektivität, das Verhältnis der Spurätzrate zur Materialätzrate, vom pH-Wert der Ätzflüssigkeit abhängt. Auf diese Weise lassen sich genau vorbestimmbare Mikrostrukturen bzw. -poren erzeugen. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP0563605(A1) |
申请公布日期 |
1993.10.06 |
| 申请号 |
EP19930103431 |
申请日期 |
1993.03.03 |
| 申请人 |
GESELLSCHAFT FUER SCHWERIONENFORSCHUNG MBH |
发明人 |
TRAUTMANN, CHRISTINE;SPOHR, REIMAR, DR.;ANGERT, NORBERT;BRUECHLE, WILLY;VETTER, JOHANN |
| 分类号 |
B29C59/16;B01D67/00;B01J19/08;B29C35/08;B29C71/04;C08J9/26;C23F4/00;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/311 |
主分类号 |
B29C59/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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