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发明名称 Substrate processing
摘要
申请公布号 GB2265634(A) 申请公布日期 1993.10.06
申请号 GB19930006341 申请日期 1993.03.26
申请人 KABUSHIKI KAISHA * TOSHIBA;* TOSHIBA KIKAI KABUSHIKI KAISHA 发明人 YUUSUKE * SATO;TOSHIMITSU * OHMINE;TAKAAKI * HONDA
分类号 C23C16/44;C23C16/52;C23C16/54;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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