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发明名称 ETCHING APPARATUS OF WAFER
摘要
申请公布号 KR930006786(Y1) 申请公布日期 1993.10.06
申请号 KR19900019577U 申请日期 1990.12.12
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD. 发明人 HAN, KYONG - SOP
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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