发明名称 ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2265729(A) 申请公布日期 1993.10.06
申请号 GB19930011324 申请日期 1993.06.01
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SOICHIRO * OKUDA;TETSUYA * NAKANISHI;SHIGEO * SASAKI;KAZUHIKO * NOGUCHI
分类号 H01J37/09;H01J37/304;H01J37/317 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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