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发明名称 Discharge exciting excimer laser device
摘要
申请公布号 US5251226(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 US19910775937 申请日期 1991.11.04
申请人 MITSUI PETROCHEMICAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 WATANABE, SHUNTARO;OEDA, YASUO;OHMATA, KEN;UEHARA, MICHITO;TERADA, MITSUGU;SHIBATA, HIDEAKI;TERASHI, YUICHIRO
分类号 H01S3/038;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
主权项
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