发明名称 Method of manufacturing semiconductor devices
摘要
申请公布号 US5250465(A) 申请公布日期 1993.10.05
申请号 US19920825255 申请日期 1992.01.24
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 IIZUKA, MASAKO;MUKAI, RYOICHI;NAKANO, MOTOO
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/26;H01L21/306 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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