| 发明名称 |
GAS MIXTURES FOR EXCIMER LASERS |
| 摘要 |
A rare gas-halide excimer laser uses a buffer gas consisting of from 5 to 50% by volume helium the balance being neon.
|
| 申请公布号 |
CA2093301(A1) |
申请公布日期 |
1993.10.05 |
| 申请号 |
CA19932093301 |
申请日期 |
1993.04.02 |
| 申请人 |
BOC LIMITED |
发明人 |
GABZDYL, JACEK T. |
| 分类号 |
C01B23/00;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/225 |
主分类号 |
C01B23/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
